GALIL運(yùn)動控制卡應(yīng)用案例----涂膠/點(diǎn)膠機(jī)

時(shí)間：2022-11-04作者：上海銳放自控技術(shù)有限公司瀏覽：360

GALIL運(yùn)動控制卡應(yīng)用案例----涂膠/點(diǎn)膠機(jī)










半導(dǎo)體的制造包括從硅晶體生長到最后的封裝一系列復(fù)雜的自動化操作。一般各個部件的封裝 階段指的是圍繞一個硅摸具的兩個或更多的材質(zhì)層間的接合與粘貼。我們關(guān)心的是這些層之間的粘 性物質(zhì)的粘貼過程。

這臺工業(yè)機(jī)床應(yīng)用在芯片封裝材料的涂抹上(芯片封裝材料 —— Chip  Encapsulation Material,CEM) 。當(dāng)硅模具粘貼到封裝基座之后， CEM 液體涂抹過程可以在封裝芯片之間制造一個 粘結(jié)層。液體的種類包括陶瓷粘合劑，導(dǎo)電及非導(dǎo)電環(huán)氧物質(zhì)，熱接觸面材料，以及焊膏。

液體涂抹工藝需要至少兩個軸在一個坐標(biāo)系內(nèi)密切配合， *三個軸用來控制液體涂抹噴嘴的垂 直位置， *四個軸帶動傳送帶， *五個軸控制液泵的液體流量 (圖1)。復(fù)雜的基座表面往往需要噴 嘴軸偶合成三維結(jié)構(gòu)。 較其復(fù)雜的表面可能需要多加兩個軸在另一個坐標(biāo)系中偶合， 用來完成涂抹 噴嘴軸的偏航控制。 要達(dá)到精確的液體涂抹通常需要線性插補(bǔ)及電子齒輪運(yùn)動模式。 在這個應(yīng)用實(shí) 例中，我們將涉及到一個坐標(biāo)系，4個運(yùn)動控制軸外加一個控制流量的軸。盡管這是一個特例，但 其中包含的信息亦可用在一般的液體涂抹應(yīng)用中。




下面給出了運(yùn)動控制系統(tǒng)的較基本要求：

⑴.  五個軸(XYZWE)

⑵.  預(yù)定的 XY 坐標(biāo)路徑

 ⑶.  標(biāo)粘合劑的量總保持一致(精確流量控制)

⑷.  I/O

新載物盤傳感器(數(shù)字輸入)

載物盤到位傳感器(數(shù)字輸入)

載物盤空載傳感器(數(shù)字輸入)

液位監(jiān)測(模擬輸入)

液位低報(bào)警(模擬輸出)

XYZ 軸的正／反向限位(數(shù)字輸入)

W 軸的零點(diǎn)開關(guān) (數(shù)字輸入)

(5).  標(biāo)終端用戶界面

操作員輸入基座的深度

開始涂抹周期

監(jiān)測周期中機(jī)床狀態(tài)


   控制器： DMC-1850

因?yàn)榇?/span>應(yīng)用中需要終端用戶界面，所以需要一臺**的 PC 機(jī)，加之需要對 5 軸控制，這使得 DMC-1850 PCI 總線控制器成為了較優(yōu)選擇。此外， DMC-1850 還為傳感器提供了光電隔離輸入，并 為液面監(jiān)測提供了模擬輸入。

電機(jī)： BLM-N23-50-1000

為了達(dá)到免維護(hù)運(yùn)行，我們選擇無刷電機(jī)。由于晶片定位機(jī)需要不到 0.3Nm 的連續(xù)轉(zhuǎn)矩，所 以我們推薦使用 Galil 的 NEMA 23 #BLM-N23-50- 1000 無刷電機(jī)或者其他同等機(jī)。

電機(jī)上裝有一臺每轉(zhuǎn) 1000 脈沖的增量編碼器， 積分后每轉(zhuǎn)產(chǎn)生 4000 個脈沖。 由于增量編碼器為輸 入信號提供了通向放大器的交換通道，電機(jī)上不許要安裝 Hall 傳感器。

放大器： AMP-19540

為了驅(qū)動 X，Y，Z 和 W 軸電機(jī)， 我們選擇了非常緊湊的 AMP- 19540 ，它是臺無刷四軸放大器(每個軸的驅(qū)動能力為 500W)。*五軸液泵需要有一個獨(dú)立的驅(qū)動設(shè)備， 因此它通過 ICM-2900 和 CB-50- 100 與控制器相連。它們用來擴(kuò)展 5-8 軸控制器上的* 5 到 8 軸。




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  詞條說明

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