貴金屬靶材可以回收再利用嗎

時間：2022-09-09

貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或殘料什么都是可以回收再利用的。比如金靶材、銀靶材、鈀靶材等都可以回收再利用。以ITO銀靶材為例，生產(chǎn)加工時銀靶材會被打穿，產(chǎn)生的絲狀殘料這些都是可以回收再利用的，廢料上會沾染少量的銦，說是氧化用的，這種銦元素處理一下就可以了。所以含金、銀、鈀、鉑、銠這些貴金屬的靶材都可以回收再利用的，還有合金靶材之類的。

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詞條
詞條說明
什么是貴金屬靶材
? ? ?貴金屬靶材就是采用精練、粉末冶金、壓延加工或熔化鍛造制造而成的貴金屬靶材材料。是主要應用于半導體器件、存儲用的硬盤、平面顯示器等的布線和制備薄膜用的貴金屬濺射靶材材料。廣泛應用于集成電路和大規(guī)模集成電路。還有一些合金靶材用于磁記錄。? ? ?在貴金屬靶材中其貴金屬的純度都在**以上主要應用在半導體行業(yè)與大規(guī)模的集成電路中
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