等離子清洗機用于清洗晶元(Wafer),去除表面光刻膠。具有高度的均勻性,穩(wěn)定的刻蝕速率。等離子體清洗機在處理晶圓表面光刻膠時,等離子表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余**物,也可以通過等離子活化和粗化作用,對晶圓表面進行處理,能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學方法,等離子體清洗機干式處理的可控性強,一致性好,并且對基體沒有損害。
等離子清洗機有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機,等離子表面處理機,電漿清洗機,plasma清洗機,等離子去膠機,等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場合。等離子清洗機能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作,增強粘合力、鍵合力
等離子清洗機的應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、晶圓凸點、消除靜電、介電質刻蝕、**污染去除、晶圓減壓等。使用等離子清洗機不僅去除光刻膠和其他**物,而且活化和粗化晶圓表面,提高晶圓表面浸潤性。
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詞條說明
**SMA電漿等離子清洗機技術在晶圓芯片封裝工藝中有哪些應用
**SMA電漿等離子清洗機技術在晶圓芯片封裝工藝中有哪些應用 在半導體器件生產(chǎn)過程中,晶圓芯片表面會存在各種微粒、金屬離子、**物及殘留的磨料顆粒等沾污雜質,等離子清洗機電漿體清洗這種工藝優(yōu)勢明顯。煙臺金鷹科技將多年的服務經(jīng)驗整理如下,僅供大家參考: 1、銅引線框架 處于對性能和成本的考慮,微電子封裝領域目前主要采用導熱性、導電性、加工性能良好的銅合金材料作為引線框架。銅的氧化物與其它一些**
LED 屏外表面鍍錫,以保護 LED 劃傷和防潮。但它不能持續(xù)很長時間就會損壞,而 LED 屏幕成本高,一小塊 LED(200 毫米 * 200 毫米)成本 500 美元。一個大的LED屏幕是由許多小LED組成的,所以非常昂貴。為了得到好的保護,LED屏需要點三防膠,可以防水、防塵、防腐蝕。但是在LED屏表面涂錫時點膠就失敗了,表面非常光滑,附著力差。在這種情況下,等離子體清洗機起到了重要的作用,
等離子清洗機對插導尿管的加工處理在臨床護理上插導尿管拔掉不便的情形也變得越來越比較常見。尤其是長時間留設的插導尿管,有時候因為橡膠材料的老化會導致氣襄管腔的堵塞,強行拔掉時很有可能會導致比較嚴重的不良反應。為了避免硅橡膠與身體接觸到外表面的老化,需求對其外表面進行氧等離子處理。純?nèi)槟z插導尿管經(jīng)等離子體清洗機加工處理后的插導尿管外表面變滑,外表面接觸角由84°減少至67°,外表面無有危害基團形成,從
Plasma Cleaner等離子去膠清洗機在LED封裝制造中的應用
Plasma Cleaner等離子清洗/去膠機是無任何環(huán)境污染的新型清洗方式,是所有清洗方法中較為的剝離式清洗,較大優(yōu)點在于清洗后無廢液,較大特點是不分處理對象的基材類型均可處理,如金屬、半導體、氧化物及粉體或時顆粒狀材料的等離子表面改性處理,包括:等離子清洗、活化、刻蝕、沉積、聚合、接枝、污染物去除、表面化學改性、聚合物植、表面涂覆等。為所處理的材料表面帶來**潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變,表面
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