電容式傳感器的分類(lèi)

時(shí)間：2020-09-09作者：深圳揚(yáng)德勝科技有限公司瀏覽：47

　　電容式傳感器是以各種類(lèi)型的電容器作為傳感元件，將被測(cè)物理量或機(jī)械量轉(zhuǎn)換成為電容量變化的一種轉(zhuǎn)換裝置，實(shí)際上就是一個(gè)具有可變參數(shù)的電容器。電容式傳感器廣泛用于位移、角度、振動(dòng)、速度、壓力、成分分析、介質(zhì)特性等方面的測(cè)量。較常用的是平行板型電容器或圓筒型電容器，70年代末以來(lái)，隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了與微型測(cè)量?jī)x表封裝在一起的電容式傳感器。這種新型的傳感器能使分布電容的影響大為減小，使其固有的缺點(diǎn)得到克服。電容式傳感器是一種用途較廣，很有發(fā)展?jié)摿Φ膫鞲衅鳌?

　
　典型的電容式傳感器由上下電極、絕緣體和襯底構(gòu)成。當(dāng)薄膜受壓力作用時(shí)，薄膜會(huì)發(fā)生一定的變形，因此，上下電極之間的距離發(fā)生一定的變化，從而使電容發(fā)生變化。但電容式壓力傳感器的電容與上下電極之間的距離的關(guān)系是非線(xiàn)性關(guān)系，因此，要用具有補(bǔ)償功能的測(cè)量電路對(duì)輸出電容進(jìn)行非線(xiàn)性補(bǔ)償。


　　根據(jù)傳感器的結(jié)構(gòu)可把電容式傳感器分為三種類(lèi)型的結(jié)構(gòu)形式。它們又可按位移的形式分為線(xiàn)位移和角位移兩種，每一種又依據(jù)傳感器較板形狀分成平（圓形）板形和圓柱（圓筒）形，雖然還有球面形和鋸齒形等其他形狀，但一般很少用。其中差動(dòng)式一般**單組（單邊）式傳感器，它具有靈敏度高、線(xiàn)性范圍寬、穩(wěn)定性高等特點(diǎn)。
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