新潔能功率器件MOSFET管

    金屬-氧化物半導體場效應晶體管,簡稱金氧半場效晶體管(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor, MOSFET)是一種可以廣泛使用在模擬電路與數(shù)字電路的場效晶體管(field-effect transistor)。 MOSFET依照其“通道”(工作載流子)的極性不同,可分為“N型”與“P型” 的兩種類型,通常又稱為NMOSFET與PMOSFET,其他簡稱上包括NMOS、PMOS等。

    圖1是典型平面N溝道增強型NMOSFET的剖面圖。它用一塊P型硅半導體材料作襯底,在其面上擴散了兩個N型區(qū),再在上面覆蓋一層二氧化硅(SiO2)絕緣層,最后在N區(qū)上方用腐蝕的方法做成兩個孔,用金屬化的方法分別在絕緣層上及兩個孔內(nèi)做成三個電極:G(柵較)、S(源較)及D(漏較),如圖所示。從圖1中可以看出柵較G與漏較D及源較S是絕緣的,D與S之間有兩個PN結(jié)。一般情況下,襯底與源較在內(nèi)部連接在一起,這樣,相當于D與S之間有一個PN結(jié)。

    圖1是常見的N溝道增強型MOSFET的基本結(jié)構圖。為了改善某些參數(shù)的特性,如提高工作電流、提高工作電壓、降低導通電阻、提高開關特性等有不同的結(jié)構及工藝,構成所謂VMOS、DMOS、TMOS等結(jié)構。雖然有不同的結(jié)構,但其工作原理是相同的,這里就不一一介紹了。


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