靶材種類


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    1.常規(guī)金屬氧化物靶材:氧化鎂靶材MgO,氧化錳靶材MnO,氧化鐵靶材FeO,氧化鈷靶材CoO,氧化鎳靶材NiO,氧化銅靶材CuO,氧化鋅靶材ZnO,氧化鉛靶材PdO,氧化錫靶材SnO,氧化鋁靶材Al2O3. 2.稀有金屬氧化物靶材:氧化銦靶材InO2,氧化鍺靶材GeO2,氧化鎵靶材Ga2O3,氧化銻靶材Sb2O3,氧化鉍靶材Bi2O3,氧化鎘靶材CdO,氧化鈦靶材TiO,氧化鋯靶材ZrO2,氧化

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