（單管程序氧化爐）

時間：2014-10-22作者：青島福潤德微電子設(shè)備有限公司瀏覽：67

 單管氧化爐技術(shù)方案

 

              （單管程序氧化爐）

 

                 青島福潤德微電子設(shè)備有限公司

 

 

                          目錄

一、   用途

二、    氧化爐的組成

1、          主機部分

2、           控制系統(tǒng)

3、          氣路系統(tǒng)

三、   氧化爐主要技術(shù)指標(biāo) 

四、   氧化爐的設(shè)計及制造

五、    電路要求

六、   用材、外觀、顏色

七、    售后服務(wù) 

一、     用途

      本設(shè)備主要用于大規(guī)模集成電路，電力電子器件等行業(yè)，在高溫環(huán)境下對硅片進行擴散、氧化、合金、退火、鍍膜等工藝。

二、     氧化爐設(shè)備的組成

  氧化爐由主機、控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)等組成。

（一）               主機

     主機由爐體、底架、爐體托架、功率變壓器、功率調(diào)節(jié)部件等組成

1、  爐體：爐體結(jié)構(gòu)有爐絲、絕緣子、保溫棉、外殼、把口換等構(gòu)成、爐體恒溫區(qū)400mm,內(nèi)徑250mm,外徑390mm,采用三段控溫技術(shù)，一點**溫保護，從而確保恒溫區(qū)內(nèi)溫度的精度，以及爐體使用安全。

1）  加熱爐絲：加熱爐絲采用瑞典KANTHAL,A-1牌號爐絲，可長期工作在1200℃的高溫下，加熱爐絲采用三段控溫結(jié)構(gòu)，加熱纏繞等特殊技術(shù)和模具，確保了繞制爐絲時爐絲直徑的均勻度。

2）   絕緣子：絕緣子的功能是，一方面要保護爐絲匝間間距的均勻性，因為它直接影響恒溫區(qū)的參數(shù)。另一方面爐絲需要絕緣子的支撐，以保證高溫使用情況下不塌。為了保證在有限長度的爐體上獲得較長的恒溫區(qū)，采用多種間距的絕緣子（理論依據(jù)：單段加熱爐體溫度在爐體長度上呈正太分布，多段加熱爐體內(nèi)的溫度可以使用加原理計算）。

3）   保溫材料：保溫材料的材質(zhì)和保溫材料的包裝工藝是爐體的又一個較其重要的關(guān)鍵技術(shù)，根據(jù)爐體的具體使用要求來進行設(shè)計和計算。選擇英國摩根公司含鋯賽拉纖維針刺毯，這種保溫材料纖維長，纖維直徑小，容重合適，氣孔率高，主要成分為AL203，雜質(zhì)少，保溫隔熱性能優(yōu)越。在包裝工藝上，嚴格按照“無縫”包裝要求，通過工裝來實現(xiàn)包裝松緊、稀密程度。

4）  外殼：選用304不銹鋼磨砂板。外殼上裝有四個電機引線板，四個熱偶座，其中三個用于爐溫控制，一個用于**溫保護。

5）  把扣環(huán)：把扣環(huán)的功能有二，一是保溫隔熱，二是承載爐管。因此要求它不但具有保溫隔熱性能好，而且要有一定的機械強度。本項目采用輕質(zhì)陶瓷纖維材料。

2、  底架：有標(biāo)準方鋼型材焊接而成。機械承載強度保證爐體及變壓器的重量。底架下面配有水平調(diào)整裝置。

3、  爐體的托架：爐體的托架用來承載爐體，爐體托架可方便拆卸，方便更換爐體。

4、  功率變壓器：采用進口優(yōu)質(zhì)冷軋矽鋼片，高強度雙環(huán)氧玻璃絲包∕高強度漆包線，變壓器絕緣等級為B級。每管變壓器的功率約為14KW.

5、   功率調(diào)節(jié)模塊：采用MTC功率模塊，接線簡單、維護方便、過載能力強，適用各種控制信號（移相、過零、周波過零），是一個標(biāo)準化的單元，互換性強。每個調(diào)節(jié)單元有三個MTC模塊。

6、   排氣箱：石英管進口處安裝有排氣箱，將工藝過程中生產(chǎn)的廢氣排出。排氣箱材料選用304不銹鋼。

（二）               控制系統(tǒng)

     控制系統(tǒng)部分由高精度智能控溫系統(tǒng)、**溫保護控制系統(tǒng)、控制面板、熱電偶按鈕開關(guān)等組成。

1、  溫控系統(tǒng)：溫控系統(tǒng)采用原裝進口日本島電MR13控制器，簡化了用戶的操作，提高了用戶工藝的穩(wěn)定性、一致性，降低了生產(chǎn)工藝處理周期，同時也減少了設(shè)備故障時間，提高了設(shè)備利用率。

日本島電MR13控制器是新一代通用數(shù)字調(diào)節(jié)儀，具備高速度和高精度以及多個1∕0，具有很高可靠性。

1）  三個控制回路：三個控制回路用來進行爐溫控制（SPIKE）

2）  快速控制：50ms采樣周期使得其可以在要求高速。響應(yīng)的應(yīng)用中使用。

3）   直觀顯示：在帶背光的三行LCD顯示器上同時顯示PV.SP控制回路狀態(tài)

4）  高分辯率及高精度：千分之三的高精度溫度控制

5）  組態(tài)靈活：可方便組成標(biāo)準控溫、加熱和冷卻控制


青島福潤德微電子設(shè)備有限公司專注于鏈式爐排,全自動擴散爐,小型真空爐,加熱爐體,石棉圈,小型馬弗爐等

• 詞條

  詞條說明

• 立式真空爐

  空爐（vacuum furnace）是真空環(huán)境中進行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)h。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。較高溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。 目 錄 1概述 2構(gòu)造 3原理 4功能 5

• LPCVD設(shè)備

  LPCVD設(shè)備維修及應(yīng)用 低壓化學(xué)氣相淀積設(shè)備使用與維護技術(shù) LPCVD是大規(guī)模集成電路(LSI)和**大規(guī)模集成電路(VLSI)以及半導(dǎo)體光電器件工藝領(lǐng)域里的主要工藝之一。 PCVD技術(shù)可以提高淀積薄膜的質(zhì)量，使膜層具有均勻性好、缺陷密度低、臺階覆蓋性好等優(yōu)點，成為制備Si 3N4薄膜的主要方法。熱壁LPCVD設(shè)備使用過程中出現(xiàn)薄膜的淀積速率、薄膜的均勻性、片內(nèi)均勻性、片間均勻性不理想等問題，提

• 石英領(lǐng)

  ?石英軟領(lǐng)為進口石英纖維棉采用德國加工工藝制成，用于擴散爐和PECVD設(shè)備中爐體和石英管之間的隔熱保溫，解決了以往用保溫棉存在的兩大問題：一是保溫棉長時間在高溫下出現(xiàn)粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度，二是手動堵塞保溫棉不均勻，影響工作區(qū)溫度穩(wěn)定性和均勻性。本產(chǎn)品可長期使用在高溫下，不粉化，不變形，不硬化，不氧化，防震，防腐蝕。

• led**爐

  ■ LED**爐特點?? ◆ 關(guān)鍵件全部采用進口件，具有高可靠性 ◆ 具有可編程的升、降溫功能???????? ◆ 具有斷電報警、**溫報警、極限**溫報警等多種安全保護功能。 ◆ 具有高抗干擾能力 ◆ 具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置?? ?★?賽瑞達可