**潔凈臺(tái)在半導(dǎo)體工業(yè)上的不俗“表現(xiàn)”

時(shí)間：2020-01-05作者：吳江市嘉誠(chéng)潔凈技術(shù)工程有限公司瀏覽：484

**潔凈臺(tái)在半導(dǎo)體工業(yè)上的不俗“表現(xiàn)” 潔凈臺(tái)的工作原理在于**工作臺(tái)內(nèi)的空氣凈化；其次，凈化過程在工作臺(tái)內(nèi)產(chǎn)生一點(diǎn)空氣正壓，正壓可防止由操作員與走廊產(chǎn)生的污染物進(jìn)入工作臺(tái)。（數(shù)控光機(jī)）半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。 然而一個(gè)主要的問題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度。 早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾天花板夾層和墻體的方法演化為潔凈工作臺(tái)。這個(gè)主要是把過濾器裝在單個(gè)工作臺(tái)上，并使用無脫落的物質(zhì)。 在工作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存、運(yùn)輸。 在大型車間中按順序排列的工作臺(tái)（叫做工作罩）組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過濾器是一種*顆粒搜集過濾器（HEPA過濾器）。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過濾層，使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺(tái)的潔凈度，并且對(duì)于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100 英寸。HEPA過濾器可達(dá)到**或較高的過濾效率，并可用于三種凈化方法中。 一般來說，HEPA高新過濾器裝于潔凈工作臺(tái)**部。空氣由風(fēng)扇吸入先通過前置過濾器，再通過HEPA過濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺(tái)表面改變方向，流出工作臺(tái)。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式（VLF）工作臺(tái)，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺(tái)把HEPA過濾器裝于工作臺(tái)后部，這種方式被稱為空氣層流平行（HLF）式工作臺(tái)。 有關(guān)潔凈工作臺(tái)、水平層流工作臺(tái)、垂直層流工作臺(tái)，可咨詢高科金信的銷售工程師，您必定會(huì)得到滿意答復(fù)。


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• **空氣過濾器的維護(hù)

  **空氣過濾器的維護(hù) 過濾器本身的質(zhì)量問題直接影響潔凈室的凈化效果。系統(tǒng)設(shè)計(jì)考慮得再全面，過濾器這個(gè)元件質(zhì)量出問題，工程也會(huì)失敗。全國(guó)有幾百家過濾器生產(chǎn)廠，有數(shù)不清的過濾器經(jīng)銷商，在深圳，每個(gè)月都會(huì)冒出三、五家。（手電筒，塑料手電筒）在這種局面下選用過濾器，既要盈利賺錢，又不能出差錯(cuò)，這是個(gè)勞神的事。從目前的過濾器市場(chǎng)情況來看，進(jìn)口**商品的質(zhì)量令人放心；國(guó)內(nèi)有規(guī)模的公

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