磁控濺射膜常見(jiàn)故障的排除

    磁控濺射膜常見(jiàn)故障的排除
        膜層灰暗及發(fā)黑
    (1)真空度**0.67Pa。應(yīng)將真空度提高到0.13-0.4Pa

     (2)氬氣純度**999%。應(yīng)換用純度為9999%的氬氣。
     (3)充氣系統(tǒng)漏氣。應(yīng)檢查充氣系統(tǒng),排除漏氣現(xiàn)象。
     (4)底漆未充分固化。應(yīng)適當(dāng)延長(zhǎng)底漆的固化時(shí)間。
     (5)鍍件放氣量太大。應(yīng)進(jìn)行干燥和封孔處理
    膜層表面光澤暗淡
    (1)底漆固化不良或變質(zhì)。應(yīng)適當(dāng)延長(zhǎng)底漆的固化時(shí)間或更換底漆。
      (2)濺射時(shí)間太長(zhǎng)。應(yīng)適當(dāng)縮短。
      (3)濺射成膜速度太快。應(yīng)適當(dāng)降低濺射電流或電壓

    膜層色澤不均
    (1)底漆噴涂得不均勻。應(yīng)改進(jìn)底漆的施涂方法。
      (2)膜層太薄。應(yīng)適當(dāng)提高濺射速度或延長(zhǎng)濺射時(shí)間。
      (3)夾具設(shè)計(jì)不合理。應(yīng)改進(jìn)夾具設(shè)計(jì)。
      (4)鍍件的幾何形狀太復(fù)雜。應(yīng)適當(dāng)提高鍍件的旋轉(zhuǎn)速度
    膜層發(fā)皺、龜裂
    (1)底漆噴涂得太厚。應(yīng)控制在7—lOtan厚度范圍內(nèi)。
      (2)涂料的粘度太高。應(yīng)適當(dāng)降低。
      (3)蒸發(fā)速度太快。應(yīng)適當(dāng)減慢。
      (4)膜層太厚。應(yīng)適當(dāng)縮短濺射時(shí)間。
      (5)鍍件溫度太高。應(yīng)適當(dāng)縮短對(duì)鍍件的加溫時(shí)間
    膜層表面有水跡、指紋及灰粒
    (1)鍍件清洗后未充分干燥。應(yīng)加強(qiáng)鍍前處理。
      (2)鍍件表面濺上水珠或唾液。應(yīng)加強(qiáng)文明生產(chǎn),操作者應(yīng)帶口罩。
      (3)涂底漆后手接觸過(guò)鍍件,表面留下指紋。應(yīng)嚴(yán)禁用手接觸鍍件表面。
      (4)涂料中有顆粒物。應(yīng)過(guò)濾涂料或更換涂料。
      (5)靜電除塵失效或噴涂和固化環(huán)境中有顆?;覊m。應(yīng)更換除塵器,并保持工作環(huán)境的清潔
    膜層附著力不良
    (1)鍍件除油脫脂不徹底。應(yīng)加強(qiáng)鍍前處理。
      (2)真空室內(nèi)不清潔。應(yīng)清洗真空室。值得注意的是,在裝靶和拆靶的過(guò)程中,嚴(yán)禁用手
    或不干凈的物體與磁控源接觸,以保證磁控源具有較高的清潔度,這是提高膜層結(jié)合力的
    要措施之一。
      (3)夾具不清潔。應(yīng)清洗夾具。
      (4)底涂料選用不當(dāng)。應(yīng)更換涂料。
      (5)濺射工藝條件控制不當(dāng)。應(yīng)改進(jìn)濺射工藝條件


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  • 磁控濺射膜常見(jiàn)故障的排除

    磁控濺射膜常見(jiàn)故障的排除 ????膜層灰暗及發(fā)黑 (1)真空度**0.67Pa。應(yīng)將真空度提高到0.13-0.4Pa。 ?(2)氬氣純度**99.9%。應(yīng)換用純度為99.99%的氬氣。 ?(3)充氣系統(tǒng)漏氣。應(yīng)檢查充氣系統(tǒng),排除漏氣現(xiàn)象。 ?(4)底漆未充分固化。應(yīng)適當(dāng)延長(zhǎng)底漆的固化時(shí)間。 ?(5)鍍件放氣量太大。應(yīng)

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  • 自動(dòng)噴漆流水線(xiàn)售后服務(wù)

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